VS系列自動氦質譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。
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詳細參數：VS自動氦質譜檢漏儀的特點：
1、全自動的初始設置及校正
2、允許對大型泄漏的檢測
3、可以自主選擇主泵和系統的安裝
4、沒有復雜的接線
5、所有型號都適用于100/115VAC和230VAC.
6、*地排氣量
7、壓縮比提高卻沒有增加泵的體積和重量
性能指標 | PR02/PD03 | MR15和MD30 |
性能 | 前級泵內置式 | 前級泵外置式及小車 |
前級泵油式機械泵 | DS-42， 2 m3/hr （34 l/m） | DS-302， 14 m3/hr （232 l/m） |
渦卷式干泵 | 干泵-2 m3/hr （34 l/m） | TS-620 30 m3/hr （500 l/m） |
zui小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下 | 5×10-12 atm cc/sec；5×10-12 mbar l/s；5×10-13Pa m3/sec ，氦氣 | |
測試口zui高耐壓 | 13 mbar，10 Torr，1330 Pa | |
測試口處對氦氣抽速 | 1.8 l/s | |
校準 | 自動或手動（內置或外置） | |
氦本底清零 | 按鍵清零，并具有零點追蹤功能 | |
操作界面 | 高清晰彩顯，TFT觸摸屏 | |
語言選擇 | 中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語 | |
循環檢測 | 可編程粗抽時間/測試時間，設置報廢點 | |
響應時間 | ＜0.5秒 | |
設定點 | 標準；5個設定點；常開或常閉；3個漏率點；1個壓強點；1個聲訊點 | |
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