超高精度、高穩定性納米壓痕測試儀UNHT3高精度超納米壓痕測試儀采用真實力傳感器和位移傳感器，可用于測量材料在納米尺度下的機械性能
UNHT3 高精度超納米壓痕測試儀采用真實力傳感器和位移傳感器，可用于測量材料在納米尺度下的機械性能。UNHT3 采用的主動表面參比技術，消除了熱漂移和框架剛度的影響。因此，非常適用于對所有類型的材料（包括聚合物、納米涂層和軟組織）進行原子到納米尺度的長時間測量。
UNHT3 可測量他人估計的結果：兩個獨立的位移和載荷傳感器可真正可靠地控制力和壓入深度。另外，UNHT3 采用的主動表面參比設計：參考參比針尖記錄樣品的表面位移位置，同時針尖壓痕完成測量，以此扣除熱漂移和框架剛度影響。這種的設計支持大范圍的壓入位移（從幾 nm 到 100 μm）和壓入載荷（從幾 μN 到 100 mN）。
UNHT3 采用的主動表面參比技術和無熱膨脹的 Zerodur 材質，是市面上一款無需任何位移校正且熱漂移低至可忽略不計 (10 fm/sec) 的納米壓痕測試儀。憑借的穩定性，UNHT3 是可用來長期測量蠕變等測試的納米壓痕測試儀。
借助該儀器的熱穩定性，樣品在安裝后即刻便能進行測量，不必等待數小時以便其達到熱穩定狀態。因此，每天可單獨測量許多樣品。使用“快速點陣”模式，每小時可通過真實的壓痕曲線和 600 多個壓痕。另外，用戶配置、測量模式、多樣品測量和可定制報告也促使其成為市面上高的儀器。
使用集成的“Sinus 動態測量模式”，可以對機械特性進行位移曲線 DMA 分析（HIT、EIT 對比位移），并可測量薄膜到塊狀材料等樣品的粘彈特性（E'、E''：儲能和損耗模量、tan δ）。Sinus 動態測量模式還提供其他功能，例如壓痕儀快速校正以及應力/應變分析。
| 載荷 [mN] | 50 / 100(1) |
| 載荷分辨率 [nN] | 3 |
| 載荷背底噪聲 [rms] [μN] | ≤0.05 |
| 加載速度 [mN/min] | 最多 1000 種 |
| 深度量程 [μm] | 50 / 100(1) |
| 深度分辨率 [nm] | 0.003 |
| 深度背底噪聲 [rms] [nm] | ≤0.03 |
| 數據采集頻率 [kHz] | 192 |
| 選件 | |
| 加熱臺的溫度可高達 200 °C | ? |
| 冷卻至 -120 °C (2) | ? |
| 液體測試 | ? |
(1) 可選
(2) 帶環境腔體
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