檢查大型樣品的自動化過程-與潔凈室兼容。
檢查微型MEMS傳感器，XXL晶片和所有介于兩者之間的東西。
*大試件尺寸為300 × 300mm，*大試件厚度為254 mm，這是分析大型試件的無損方法。
立柱設計確保了穩定性。
在您的潔凈室檢查晶圓:Axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1認證，并滿足潔凈室等級ISO 5的要求。
與電動z軸驅動和自動對焦系統，你可以帶來低對比度，反射標本到*的焦點。
這每次都會產生*佳結果。
根據您的需求配置
顯微鏡
Axio成像儀。
A2 Vario(手動，編碼)
Axio成像儀。
Z2 Vario(可電動化)
Axio成像儀。
Z2 Vario(沒有炮塔焦點)
照明方法
反射光:亮場、暗場、DIC、C-DIC、偏振、
熒光
透射光:亮場、暗場、DIC、PlasDIC、偏振、相位對比
照明
反射光:LED，鹵素，HBO, XBO
透射光:LED、鹵素
配件
自動對焦，線性傳感器，手動和電動舞臺
簡單。更聰明。更多的集成。

?利用*大試件尺寸為300 × 300mm和令人印象深刻的*大試件厚度為254 mm進行無損分析。
?無論是處理沉重的樣品或與LSM 700激光掃描顯微鏡結合工作，堅固的柱設計提供穩定，您可以依賴和防止振動。
?axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1認證，與一個潔凈室套件，滿足潔凈室等級ISO 5的要求。
?用于檢測反光，低對比度的樣本表面，配備Axio Imager Vario快速和*效的自動對焦系統。
然后，即使你*大的標本將保持*的焦點沿X和y軸移動。
為您的應用程序創建
?由于廣泛的旅行范圍，您可以檢查太陽能電池表面的均勻性和微裂紋。
?使用潔凈室套件和自動對焦來識別晶圓上的顆粒、劃痕和缺陷。
?識別TFT顯示器在反射和透射光下的像素缺陷。
?用光罩支架檢查光罩是否有過量的鉻膜和顆粒。