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等離子體表面處理儀是一種干式工藝，是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態，利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等的目的，又被稱之為等離子清洗機。等離子體是一種很好的導電體，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，其廣泛存在于宇宙中，常被視為是去除固、液、氣體外，物質存在的第四態，能夠利用經過巧妙設計的磁場來捕捉、移動和加速等離子體。
等離子體表面處理儀產生的等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子距離以及分子或離子之間的自由運動距離也越來越長，受到電場作用時，他們之間發生相互碰撞，從而形成了等離子體。這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，例如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能夠氧化光刻膠反應所生成的氣體，從而達到清洗的效果。并且腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。
等離子體清洗技術的最大特點就是無論是什么基材類型，都能夠進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，像是聚丙烯、聚酯、聚氯乙烷、環氧，甚至是聚四氟乙烯都能很好地處理，并且能夠實現整體和局部以及復雜結構的清洗。
需要注意的是，等離子表面處理儀并不能處理掉任何產品表面的油質臟污，其主要作用是改變材料表面的圍觀結構，從而提高附著效果，這個材料本身表面就是潔凈的。
等離子體表面處理儀的用途：
1.能夠用于印刷包裝行業的粘接表面處理，提高粘接強度、降低成本、穩定粘接質量，并且無塵、清潔環保；
2.醫療材料研究；
3.高端和精密研究的清洗、除污，以保證儀器的正常使用；
4.電化學單位，進行表面處理的相關單位；
5.高分子材料研究或開發單位；
6.生物芯片領域；
7.其他主要進行表面處理的領域。
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