HORIBA 熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計
SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復(fù)雜度。

HORIBA 熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計

特征

• 多氣體/多量程解決方案

客戶可更改氣體的種類與滿量程

• 可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內(nèi)的高速響應(yīng)（1秒內(nèi)）
• 簡化氣路線

無需額外增加調(diào)節(jié)器，傳感器，過濾器

• 穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響
• 搭載進氣壓傳感器
• 多種展示
• 確保 1% S.P.的精度
• 超潔凈設(shè)計 - 金屬隔板，全部采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）
• 輕巧的尺寸

50SLM內(nèi)相同的配件尺寸

• 信號兼容

模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet™模式

• 聯(lián)網(wǎng)功能

數(shù)字信號控制

制造: HORIBA STEC