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GC-9560-PDD 四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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GC-9560-PDD四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,保證不同底氣的樣品的進樣量。

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GC-9560-PDD四氯硅烷分析用氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測,小檢測濃度可達5ppb。四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,保證不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市高新技術成果轉化*項目。

 

硅(SiHCl3)含量(體積分數)/l0-6                                                                   40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(體積分數)/l0-6                                                                   40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(體積分數)/l0-6                                                         20050
金屬元素及其他元素含量(硼+鋁)(B+Al)含量/(µg/kg)                          ≤——0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg)                      ≤——0.3
鎵(Ga)含量/(µg/kg)                            ≤——0.5
銻(Sb)含量/(µg/kg)                               ≤——0.5
銦(In)含量/(µg/kg)                              ≤——0.5
鈣(Ca)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉻(Cr)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鐵(Fe)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉀(K)含量/(µg/kg)                                ≤10.5
鈉(Na)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鎳(Ni)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉬(Mo)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
錳(Mn) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
銅(Cu)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鎘(Cd) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鈷(Co)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鋅(Zn)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
釩(V)含量/(µg/kg)                                ≤10.5

 

 

上海華愛色譜分析技術有限公司

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手機:15857110087

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