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F型 NanoMap-O三維非接觸光學表面輪廓儀

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NanoMap-O三維非接觸光學表面輪廓儀
們的高分辨掃描白光干涉儀是一個易于使用的光學計量學系統。廣泛地用于表征各種表面參數,像表面粗糙、尺度、臺階高度、薄膜厚度等,所有的測量都是快的非接觸的,結合高質量的激光器、透鏡、低機器噪聲和技術,它能夠完成二百多萬像素的圖像。

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NanoMap-O三維非接觸光學表面輪廓儀              
們的高分辨掃描白光干涉儀是一個易于使用的光學計量學系統。廣泛地用于表征各種表面參數,像表面粗糙、尺度、臺階高度、薄膜厚度等,所有的測量都是快的非接觸的,結合高質量的激光器、透鏡、低機器噪聲和技術,它能夠完成二百多萬像素的圖像。

特征

? 非接觸基的技術

? 多余二百萬像素的圖像

? 0.001nm的分辨率

? Z軸范圍從nm到50mm

? XY掃描范圍達到150x150mm

? 超高分辨率數字成像傳感器同工業標準比較,傳遞13倍的數據

? LED光源壽命多于15年

 

應用

? 臺階高度測量

? 表面粗糙測量

? 定量的抓和挖的特征,呈現深度、寬度和體積

? 平面或曲率的測量

? 二維薄膜應力測量

? 薄膜厚度

? 表面輪廓- 缺陷、形貌等


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