半自動真空探針臺可用于芯片、部分晶圓和整個晶圓（200mm以下）的研發至生產中。適用于MEMS、傳感器、開關、微測熱輻射計或真空封裝的任何產品。可根據客戶需求進行定制，以滿足各種應用和預算。 半自動探針系統將在真空環境中測試200mm以下的晶圓或基板。也可以測試單個芯片和破碎/部分晶圓。該系統是使用SemiProbe的PS4L自適應架構構建的。所有關鍵模塊都是可互換的，以提供*的靈活性。
Semiprobe半自動真空探針臺-半自動真空光電探針臺-高低溫真空探針臺 產品描述：
Semiprobe半自動真空探針臺-半自動真空光電探針臺-高低溫真空探針臺 采用PS4L技術制造了一系列真空探測系統，可在真空環境中測試晶片或基板。此外，單個模具和破損/部分晶圓可以用真空探測系統進行測試。所有關鍵模塊都可以更換和升級。SA-xVP半自動真空探針臺可用于芯片、部分晶圓和整個晶圓（200mm以下）的研發至生產中。該真空探針臺是MEMS、傳感器、開關、微測熱輻射計或真空封裝產品的理想選擇。可根據客戶需求進行定制，以滿足各種應用和預算。
Probe System for Life (PS4L) 探針臺：
Semiprobe半自動真空探針臺-半自動真空光電探針臺-高低溫真空探針臺 采用了SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性結構設計，提供了*的靈活性并大大地節省了設備資金費用。與傳統的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 探針臺中所有的基礎模塊-基座，支架,卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學組件，操縱器等都是可以更換的。這使得 PS4L探針臺以極低的價格便可滿足多種應用需求，為客戶提供了完美的解決方案。更重要的是，PS4L可根據測試環境和測試條件的改變而進行現場升級以滿足新的要求。這樣的設計理念使得即使當晶圓尺寸，自動化的程度或者測試要求發生改變時，PS4L也無需重新更換新的平臺，便可用短的時效和的費用完成有效的測試。
真空系統：
半自動探針系統將在真空環境中測試200mm以下的晶圓或基板。也可以測試單個芯片和破碎/部分晶圓。該系統是使用SemiProbe的PS4L自適應架構構建的。所有關鍵模塊都是可互換的，以提供*的靈活性。該系統非常適合于研究、實驗室或試生產應用。可更換的模塊使其易于轉換，為各種應用提供測試解決方案-直流、高頻、光電、微機電系統、納米技術等等。該系統易于定制，以滿足各種應用和預算。所有模塊都是可更換的，可以根據需要添加許多附件。有幾種不同類型的真空泵和控制器可滿足各種真空度。
應用范圍：
技術參數：
型號：SA-4VP
型號：SA-6VP
型號：SA-8VP
配件：
PILOT軟件顯示:
PILOT軟件主屏幕顯示與導航儀和晶圓映射模塊，顯微鏡和操縱器控制和集成視頻顯示
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