美國SIERRA Smart-Trak 140 系列氣體質量流量控制器產品特點：

SmartTrak 140超低壓損氣體質量流量控制器專門針對壓損要求高的氣體控制研發設計，

特別是一些昂貴的氣體控制，減少氣體通過控制器的壓降就能夠節省資金和提升效率。

zui高可控制500SLPM的流量壓降只有4.5PSID，遠低于市場上傳統的同等性能的質量流量控制器的壓降值25psid，精MI的數字PID控制閥無需手動調節。

美國SIERRA Smart-Trak 140 系列氣體質量流量控制器產品特點：

. zui高可控制氣體流量為500slpm(nlpm)，壓損為4.5psid(310mBard)

. 高精度：±1.0%滿量程

. 高重復性：±0.2%的滿量程

. 線性性能：10種標準氣體的線性度均為±1.0%滿量程

. 使用Dial-A-Gas 技術內置了10種不同的氣體。

. 精MI的數字PID閥門控制，自動調節。

. 大的閥門流通系數(Cv)，確保在低壓差情況下準確控制氣體流量。

. 線性層流器元件(LFE)

. 鉑金毛細管傳感器技術

. 全 316不銹鋼表體

. 的引導模塊(固定或手持)可方便查看或更改關鍵參數

. 避免現場重新調零和調節zui大值

. 有多重模擬和數字輸出可選：PS-232，RS-485，4-20Ma，0-5，1-5，0-10VDC

. 基準式標定，證書可溯源至NIST

. 數字通訊支持：參照100系列(P1)

. 可選Compod添加Modbus組成網絡通訊，包括繼電器，累計器、輸入和顯示。

美國SIERRA Smart-Trak 140 系列氣體質量流量控制器技術參數：

精度：

標準標定：±1.0%滿量程及工作條件下的線性度(100M在201-300slpm時精度為2%的滿量程)

Dial-A-Gas®：±1.0%的滿量程(所有內置的10種氣體)

重復性：±0.2%的滿量程

溫度系數：±0.025%的滿量程每°F(0.05%的滿量程°C)或更小

壓力系數：±0.01%的滿量程每psi(0.15%的滿量程bar)或更小

響應時間：

600ms的時間常數，4秒(典型的)達到zui終的±2.0%.