MX61A是一款專門設計的半導體顯微鏡，大尺寸檢查顯微鏡,全自動顯微鏡,MX61A顯微鏡可使操作人員以正確的人體工程學姿勢進行操作，有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測，保證了工作的效率和產品一體化。
始終提供觀察影像的光學系統
提供擴展性的解決方案
實現對人和環境都沒有危害的自動化
幫助實現多種觀察的附件
全自動半導體檢查顯微鏡 MX61A 規格 | |||
光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正） | ||
機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射 | ||
照明裝置 | 機身一體型（明視場、暗視場＋1選件） | ||
照明系統 | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | - | ||
對焦單元 | 電動/手動 | 電動 | |
行程 | 25.4 mm | ||
分辨率/微調靈敏度 | 分辨率0.01 μm | ||
樣本高度 | 24 mm | ||
物鏡轉換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | |
明暗視場微分干涉5孔 | |||
明暗視場微分干涉6孔 | |||
明暗視場微分干涉中心補正5孔 | |||
手動式 | - | ||
載物臺 | 行程 | 14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm | |
觀察筒 | 廣角視場（視場數22） | 倒置 | - |
正像 | - | ||
超寬視場（視場數26.5） | 倒置 | - | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | 自動調焦/DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 | ||
外形尺寸 | 711（W）×853（D）×552（H）mm（標準組合） | ||
重量 | 56 kg（標準組合） | ||
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