二維光熱掃描顯微鏡(ModelPTM-2000)，適用于各類固體表面及亞表面缺陷的檢測和分析，特別是各類光學薄膜、光學元器件表面及亞表面吸收缺陷的檢測和分析
二維光熱掃描顯微鏡(Model PTM-2000)，適用于各類固體表面及亞表面缺陷的檢測和分析，特別是各類光學薄膜、光學元器件表面及亞表面吸收缺陷的檢測和分析。本系統是一款非接觸式、高分辨率、全自動化檢測儀器，可以根據用戶具體需求進行紫外、可見或者近紅外波段的精密檢測和分析。
三維光熱掃描顯微鏡(Model PTM3D-2000)，適用于各類光學元器件及材料體內缺陷的三維檢測和分析。本系統是一款非接觸式、高分辨率、全自動化檢測儀器。
產品特征 1、高靈敏度；
2、高重復精度；
3、一鍵式操作；
4、樣品更換便捷、無需重復校準；
5、可對吸收缺陷進行二維（三維）高分辨率成像；
6、可進行樣品或者選定的缺陷點在激光輻照下的穩定性分析；
7、泵浦光源：可以標配，也可根據用戶需求選配或者由客戶自配。
主要技術參數 | 光熱掃描顯微鏡 | ||
產品類別 | 二維光熱掃描顯微鏡 | 二維光熱掃描顯微鏡 |
型號 | PTM-2000 | PTM3D-2000 |
檢測靈敏度 | 0.1 ppm | 0.1 ppm |
檢測波長 | 355 nm, 532 nm, 1064 nm或定制波長 | 355 nm, 532 nm, 1064 nm或定制波長 |
| 泵浦激光 | 根據客戶需求配置 | 根據客戶需求配置 |
橫向空間分辨率 | 在適當泵浦光波長條件下可達亞微米分辨率 | 橫向3 μm,縱向20 μm |
| 樣品尺寸 | 50 mmx50 mm x10 mm | 50 mmx50 mm x10 mm |
注：可以根據客戶需求提供同類特制儀器和相關測試的解決方案。
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